【新品上市】超音波微少液体流量计

 用于IPA、纯水、药液等半导体制造工序中微小区域的流量控制

 
・1ml/min以上的微流量测量
・通过数字信号处理进行高精度微流量测量
・传感器部不与被测部件接触流体
・宽范围
 
产品规格
■ 微小液体流量计(传感器分离型)

μLF-300S

模型 μLF-300S + μLT-8I(1/8 英寸)または μLF-300S + μLT-4I(1/4 英寸)
测量原理 超声波传播时间差法
被测定液体 纯水、水溶液、各种化学溶液
* 如果使用水以外的液体,请事先确认。
适用流体温度范围 15°C 至 80°C
*如果在 60°C 或更高温度下使用,请提前检查
流体压力 0.5MPa 以下 
流体动粘度 100mm^2/sec 以下 
流量范围 0 ml/min ~ 1000 ml/min (μLF-300S + μLT-8I)
0 ml/min ~ 1000 ml/min (μLF-300S + μLT-8I)
测量精度 ±0.5%RD (1/8 英寸:200 ~ 1000ml/min 条件:室温、恒温水)
±1ml/min (1/8 英寸:0 ~ 199ml/min)
±0.5%RD (1/4 英寸:0 ~ 199ml/min) 800~4000ml/min 条件:室温、恒温水)
±4ml/min(1/4英寸:0~799ml/min)
重复性 ±0.2%(纯品,液温±0.5℃,30秒平均值) 
电源 直流24V±10%
消费电力 3.6W以下
重量 传感器240g,探测器70g 
尺寸 宽x高x深(毫米) 传感器 97 x 49 x 127
检测器 90 x 25 x 20(不含管)
检测单元
管材 PFA(氟树脂)
管径 1/8 英寸外径:3.17 毫米,内径:2.17 毫米,1/4 英寸外径:6.35 毫米,内径:4.35 毫米
结构 IP65相当
附带电缆 5m,连接器连接
输入部分
数字输出 4线式RS-422, 4线式RS-485 
模拟输出 4-20mA (瞬时流量), 负荷抵抗500Ω以下 
集成脉冲输出 1ch(集电极开路) 
报警输出 1ch(集电极开路)
接点输入 1ch(零流量设定或累计清零)
按键输入 4 输入按钮